観察時間を短縮する高スループット走査
新開発の高速応答可能なHTスキャナおよびソフトウェア・制御システム設計の最適化により、従来のデバイスの5倍以上の速度（当社比）で画像データを取得することに成功した。

スキャナは簡単に交換できるので、従来のスキャナを使用することができます。また、元SPM-9700にHTスキャナを追加することで、デバイスの高効率分析を実現することができる。

ケースの分析

• 金属蒸着膜の表面粗さ解析

金属蒸着膜の表面形態を1 Hzと5 Hzの走査速度で観察した。画質及び表面粗さの分析結果は同じである。

• ラスタトレンチ形状検出

格子の表面形態を1 Hzと5 Hzの走査速度で観察した。断面形状解析を経て、溝形状検出結果はすべて同じである。